羅茨真空泵與其它類(lèi)型的真空泵相比較，有如下優(yōu)點(diǎn)：

1)在很寬的壓力范圍內(nèi)（10?10負(fù)二次方Torr)，具有穩(wěn)定的大抽速，能迅速排出突然放出的氣體，彌補(bǔ)了油封機(jī)械泵和擴(kuò)散泵的不足，很適宜作機(jī)械增壓泵之用。在有水封或油封的情況下，能直排大氣抽真空，也適宜作大抽速的粗真空泵。

2)設(shè)計(jì)先進(jìn)，結(jié)構(gòu)合理，轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)于與泵體間均有間隙，互不接觸，不用潤(rùn)滑，摩擦損失小，可用較低的動(dòng)力獲得較大的抽速，有顯著的節(jié)能效果。

3）轉(zhuǎn)子有良好的幾何對(duì)稱性，工作平穩(wěn)，能用提高轉(zhuǎn)速的辦法獲得大抽速，從而做到結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、重量輕。羅茨真空泵

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4)泵腔內(nèi)不發(fā)生氣體壓縮，加之運(yùn)動(dòng)件之間有間隙，對(duì)抽吸氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感，因此可抽出可凝性蒸汽。

5)泵腔內(nèi)運(yùn)動(dòng)件無(wú)需用油潤(rùn)滑，能避免油蒸汽對(duì)真空系統(tǒng)的污染，有利于獲得無(wú)油真空。

6)無(wú)需進(jìn)排氣閥，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，噪聲較低，泵腔內(nèi)運(yùn)動(dòng)件互不接觸，不易損壞，維護(hù)費(fèi)用低。

7)啟動(dòng)快，能在短時(shí)間內(nèi)達(dá)到極限真空。

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